防爆隔膜真空泵的结构原理与应用范围
点击次数：195 更新时间：2025-09-24
防爆隔膜真空泵是一种专为易燃易爆环境设计的真空设备，其核心结构和工作原理如下：
一、结构原理
1、隔膜机构
采用高强度弹性隔膜(如聚四氟乙烯)将泵腔分隔为吸气腔和压缩腔，通过电机驱动的往复运动实现气体抽排。隔膜运动时，吸气腔容积扩大形成负压吸入气体，压缩腔容积减小排出气体，全程无需油润滑，避免污染。
2、防爆设计
泵体采用不锈钢等耐腐蚀材料，电气系统配备防爆型电机和阻燃电缆，并严格接地以防止火花产生。通风系统可控制可燃气体浓度，避免达到爆炸极限。
二、应用范围
1、工业领域
适用于半导体、化工、制药等行业的真空吸附、干燥及薄膜涂覆工艺，尤其适合处理易燃易爆气体。
2、特殊环境
在防爆间等高风险场所中，其无油、低噪音特性可满足安全要求。
该设备因结构简单、体积小且安全性高，成为高危环境真空作业的常用选择。
